电子特气纯度分析解决方案 - 硅烷/氩气/氨气等电子特气中ppb级杂质检测

2026/01/05 13:48 I 阅读:54

应用领域

半导体

检测样品

化学成分与纯度检测

检测项目

硅烷 二氯二氢硅 三氯氢硅 四氯化硅 氩

参考标准

/

发布时间

2026/01/05

方案详情

科瑞色谱提供针对电子特气行业的完整气相色谱分析解决方案,涵盖硅烷、氩气、氨气等多种高纯气体的ppb级杂质检测。方案依托高灵敏检测器(如PDHID、EPD等)和专业预处理系统,确保气体纯度满足半导体制造要求,为芯片生产提供可靠的质量保障。

产品配置单

分析仪器

科瑞色谱GS2010-III型气相色谱仪

型号:GS2010-III型气相色谱仪

品牌:科瑞色谱

产地:辽宁

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